三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的導(dǎo)軌是測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)的重要部件,一般三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)多采用滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)軸承導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌,而以氣浮靜壓導(dǎo)軌為主要形式。
氣浮導(dǎo)軌的核心是氣浮軸承(空氣軸承),利用氣浮軸承小孔節(jié)流形成氣腔內(nèi)的高壓,在導(dǎo)軌和氣浮軸承間形成具有一定承載能力和剛性的薄膜。氣浮導(dǎo)軌具有無(wú)摩擦及無(wú)磨損的特性,由于勻差效應(yīng),運(yùn)動(dòng)的局部直線度及角度擺動(dòng)較小。精度較高的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x一般采用氣浮導(dǎo)軌。
氣浮軸承的性能有4個(gè)要求:抗氣振能力、耗氣量、即承載能力,承載剛性(氣浮間隙每變化一微米承載能力的變化)。其他的要求還包括防銹性能、安裝的工藝性,支承等的載荷設(shè)計(jì)亦不能忽略。對(duì)超高精度測(cè)量機(jī),氣浮間隙及氣腔壓力的穩(wěn)定至關(guān)重要,超高精度測(cè)量機(jī)往往設(shè)置氣浮軸承壓力檢查引出孔。
三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的氣動(dòng)導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器的過(guò)程中是可以自行移動(dòng)的,根據(jù)工件的高度、大小、長(zhǎng)度的不同,無(wú)需人工調(diào)節(jié),導(dǎo)軌的收縮系統(tǒng)可以自動(dòng)完成,而且移動(dòng)速度平穩(wěn),描準(zhǔn)精度準(zhǔn)確。三坐標(biāo)導(dǎo)軌到底是由什么原理使得平穩(wěn)準(zhǔn)確的移動(dòng)呢?
導(dǎo)軌安裝在一個(gè)可以滑動(dòng)的軌道上,這種軌道結(jié)構(gòu)跟列車的軌道結(jié)構(gòu)相似,都是成倒扣”工”字形。導(dǎo)軌倒扣在軌道上,只要給予動(dòng)力來(lái)源,導(dǎo)軌就可以滑行。氣動(dòng)導(dǎo)軌是以氣壓作為動(dòng)力驅(qū)動(dòng),在伺服人機(jī)對(duì)話系統(tǒng)的操作指令下來(lái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作功能的。
同時(shí),導(dǎo)軌是由金屬管制造成而,重量適當(dāng),中間空出可以導(dǎo)入氣動(dòng)能源,伺服系統(tǒng)安裝在三次元的操作系統(tǒng)里,通過(guò)人機(jī)對(duì)話,向?qū)к壈l(fā)送各行操作指令,導(dǎo)軌就會(huì)自動(dòng)移向那個(gè)點(diǎn)。
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