三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的測(cè)量?jī)x由標(biāo)尺系統(tǒng)和測(cè)頭系統(tǒng)組成,其中測(cè)頭系統(tǒng)又包含測(cè)頭和測(cè)頭附件兩大部分。
一、標(biāo)尺系統(tǒng),標(biāo)尺系統(tǒng)是用來(lái)度量各軸的坐標(biāo)數(shù)值的,目前三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x上使用的標(biāo)尺系統(tǒng)種類很多,它們與在各種機(jī)床和儀器上使用的標(biāo)尺系統(tǒng)大致相同,按其性質(zhì)可以分為機(jī)械式標(biāo)尺系統(tǒng)(如精密絲杠加微分鼓輪,精密齒條及齒輪,滾動(dòng)直尺)、光學(xué)式標(biāo)尺系統(tǒng)(如光學(xué)讀數(shù)刻線尺,光學(xué)編碼器,光柵,激光干涉儀)和電氣式標(biāo)尺系統(tǒng)(如感應(yīng)同步器,磁柵)。根據(jù)對(duì)國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)CMM所使用的標(biāo)尺系統(tǒng)的統(tǒng)計(jì)分析可知,使用最多的是光柵,其次是感應(yīng)同步器和光學(xué)編碼器。有些高精度CMM的標(biāo)尺系統(tǒng)采用了激光干涉儀。
二、測(cè)頭系統(tǒng),三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x是用測(cè)頭來(lái)拾取信號(hào)的,因而測(cè)頭的性能直接影響測(cè)量精度和測(cè)量效率,沒(méi)有先進(jìn)的測(cè)頭就無(wú)法充分發(fā)揮測(cè)量機(jī)的功能。在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上使用的測(cè)頭,按結(jié)構(gòu)原理可分為機(jī)械式、光學(xué)式和電氣式等;而按測(cè)量方法又可分為接觸式和非接觸式兩類。
為了擴(kuò)大測(cè)頭功能、提高測(cè)量效率以及探測(cè)各種零件的不同部位,常需為測(cè)頭配置各種附件,如測(cè)端、探針、連接器、測(cè)頭回轉(zhuǎn)附件等。
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